Park NX-Hivac用于故障分析與氣氛敏感材料研究的高真空原子力顯微鏡

Park NX-Hivac通過為失效分析工程師提供高真空環境來提高測量敏感度以及原子力顯微鏡測量的可重復性。與一般環境或干燥N2條件相比，高真空測量具有準確度高、可重復性好及針尖和樣本損傷低等優點，因此用戶可測量各種故障分析應用中許多信號響應，例如掃描擴散電阻顯微術(SSRM)的摻雜物濃度。
Park NX-Hivac使得真空環境中高精確度和高分辨率測量的材料科學研究遠離氧氣與其它藥劑的影響。
Park NX-Hivac用于失效分析的高真空掃描，先進的StepScan自動化掃描和更快的激光校準技術，多樣品模塊，Park招牌技術便捷的針尖替換，大型真空腔300mm X 420mm X 320mm提供超長觀測距離的同軸光學設備，用于提高靈敏度的高真空SSRM。